电光聚合物（EO Polymer）是调制器的“功能层”，其电光系数直接决定了器件能耗。为此需要了解极化温度、外加电场强度、急速冷却固化时间等必

要的极化条件。但EOPolymer的极化一直被国外科技公司或科研团队作为核心技术，严格保密.这里，为了促进我国高速光电子的发展，我们将EOPolymer

的极化过程公开，供所有研究者参考。极化过程及详细参数如下：

1. 将待极化器件放在加热台和水冷模块上后，通过显微镜观察将直流探针和器件电极连接，直探针另一端连接直流电压源 （详见图片）。

2. 通过加热台将待极化器件加热到电光聚合物的玻璃化转换温度（Tg）附近。

3. 温度稳定后，通过直流电压源施加高压到极化器件上，升压过程逐步慢慢增加，施加在聚合物上的电压所引起电场强度为70-100 V/um，具体大小视调制器结构而定。

4. 维持高压约5-10s后，将加热开关关闭、并立即通入冷却水将加热台温度急速降低至室温，最后将高压关闭完成极化。